Das planare Aerotech XY-Bewegungssystem kombiniert luftgelagerte Scanachse mit mechanisch gelagerter Schrittachse für Schritt- und Scanbetrieb bis 1,2 m x 1,2 m. Aktive Vorspannung auf Vertikal- und Horizontalflächen verleiht der Scanachse hohe Steifigkeit und Dynamik.
Ausgelegt für Wafer-Inspektion, Display-Fertigung sowie optische Inspektion und Fertigung, verbindet die Konstruktion Leistung mit Kosteneffizienz. Bürstenlose BLM-Linear-Servomotoren mit eisenlosem Forcer arbeiten ohne Cogging, als Rückführung dienen Linear-Encoder oder Laser-Interferometer.
Aerotech XY-System Highlights
Hybridlagerung Luft/mechanisch
Verbindet präzise Scandynamik mit kosteneffizienter Schrittachse.
BLM-Linearmotor eisenlos
Liefert ruckfreie Bewegung ohne Cogging für gleichmäßiges Scannen.
Bis 1,2 m x 1,2 m Hub
Nimmt große Substrate und Optiken in einer Aufspannung auf.
